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离子注入件钨丝
用途
在半导体制造工程中,把离子注入到活性领域(source、drain)部分而制作二极管特性的离子注入工程中使用的、产生离子束的灯丝。
特点
-
采用高纯度钨材料,进行精密尺寸管理
采用热处理加工方式,可维持高寿命