AlN Heater Coil
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- 용도
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AlN Heater 내부에 배선되어 열선으로 사용
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- 특징
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- 균일한 Pitch 재현 및 구간별 저항 값 조절 가능.
- 높은 품질과 재현성 확보.
Moly Mesh
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- 용도
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- 고온 내구성에 뛰어난 몰리브덴 와이어를 메쉬 형상으로 짠 것으로 고온용 소재로 사용.
- 반도체 공정 중 웨이퍼 가열 용 AlN Heater 등에 적용.
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- 특징
- - 고온과 마모에 강하며 열 팽창율이 낮아 높은 정밀성을 보임.