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제품소개

반도체 검사 부품 및 설비

Home > 제품소개 > 반도체 검사 부품 및 설비 > AL-N히터
AlN Heater Coil
  • 용도
    AlN Heater 내부에 배선되어 열선으로 사용
  • 특징
    - 균일한 Pitch 재현 및 구간별 저항 값 조절 가능.
    - 높은 품질과 재현성 확보.


Moly Mesh
  • 용도
    - 고온 내구성에 뛰어난 몰리브덴 와이어를 메쉬 형상으로 짠 것으로 고온용 소재로 사용.
    - 반도체 공정 중 웨이퍼 가열 용 AlN Heater 등에 적용.
  • 특징
    - 고온과 마모에 강하며 열 팽창율이 낮아 높은 정밀성을 보임.