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製品紹介

半導体検査部品及び装置

Home > 産業/用途別製品 > 半導体検査部品及び装置 > イオンインプラントフィラメント
イオンインプラントフィラメント
  • 用途
    半導体の製造工程のソース、ドレーン箇所にイオンを注入させてダイオードの特性を作るイオンインプラント工程においてイオンビームを発生させるフィラメント。
  • 特徴
    - 高純度のタングステンの材料使用及び精密な寸法管理。
    - 熱処理加工で長寿命を維持 。