Product by Industrial/Use
製品紹介
非空圧
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- 用途
- - 半導体、ディスプレイ、化学産業における超精密ガス供給
- - 医療、半導体、化学プロセスにおける精密な液体制御
- - 静電気除去、電子部品及びフィルム加工保護
- - 半導体及び真空プロセス装置で高真空を維持
- - 空圧及び流体の流れの検出、自動化設備の適用
- - 自動化装備、ロボット、精密機器での動作制御
- 特徴
- - AP TECH：高純度、精密制御、高耐食性材料を適用
- - 薬液バルブ：腐食防止、超精密流量調整、耐化学性に強い
- - イオナイザ：高速放電速度、広い制御範囲、低汚染設計
- - 高真空バルブ：耐久性強い、微細漏れ防止、精密制御可能
- - フロース位置：高感度センサー、多様な流体適用可能
- - 電動機器：高い繰り返し精度、エネルギー効率、多様な駆動方式