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製品カテゴリー

半導体検査部品及び装置

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モリメッシュ
  • 用途
    - 高温及び耐久性に優れたモリブデンワイヤをメッシュ形状に編んだ物で高温用素材として使用
    - 半導体工程の中でウェハー加熱用HeaterであるAlN Heater等に適用
  • 特徴
    - 高温と磨耗に強く、熱膨張率が低いので高い精度が見られる