Product by Industrial/Use
製品紹介
AlNヒーターコイル
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- 用途
- AlN Heaterの内部に配線され熱線として使用
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- 特徴
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- 均一なPitchの再現及び区間別の抵抗値調節が可能
- 高い品質と再現性確保
モリメッシュ
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- 用途
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- 高温及び耐久性に優れたモリブデンワイヤをメッシュ形状に編んだ物で高温用素材として使用
- 半導体工程の中でウェハー加熱用HeaterであるAlN Heater等に適用
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- 特徴
- - 高温と磨耗に強く、熱膨張率が低いので高い精度が見られる